加湿可防止因空气相对湿度太低而产生的静电现象，此静电可能导致生产设备当机及产品不良率升高。电子厂、半导体厂及线路板等无尘室一般控制在恒温22℃左右，所以需要常年空调及温湿度控制以防静电、冷凝结露、腐蚀、纤维破裂及工作人员不适感。由于相对湿度在60%以上，会有腐蚀现象；而在40%以下则会有静电现象。所以通常零件在进入无尘室前，需要保持在特定温湿度环境里，以防止进入无尘室内由于温差造成冷凝结露让零件受潮损坏；或产生静电易使灰尘杂质附着在零件上影响质量功能。