产品由来

近年来随着电子工业电路制造之线宽不断的缩小达到纳米的等级，并由于区域建厂密度极高导致各厂排气交叉污染效应，对于制程环境污染的关切已由原来的粒状固体污染物变为气态分子污染物（AMC）,例如SOx、NOx、CO、NH₃、HCL及其它的有机污染物。无尘室本身产生的AMC可由风机过滤器（FFU）上的化学过滤器去除，但外气部分则必须靠MAU化学过滤器或水洗式加湿系统加以清除。由于化学过滤器效率虽高但成本昂贵，且与外气处理量成正比，此外，当外气含微粒浓度高或湿度较大时会减短其使用寿命，故一直以来未被电子行业广为采用。而作为良好的气体吸收液且廉价的水便成为去除AMC的最佳方式。加之水洗式加湿系统在冷却空气、温度调节方面有一定成效。故水洗式加湿系统逐渐成为当前电子工业去除化学污染物的主流。

工作原理

以水为介质，经泵浦加压，由特制的喷嘴将水细化成一定直径范围内的水颗粒，与流动的空气撞击、混合、热质传、溶解等作用，使空气中的AMC、VOC、Particle从空气中分离，从而起到洗涤空气的作用。加湿仅为此项产品的附属功能。

三种基本型式

(1) 喷淋式：外气经过匀流板均匀风量后，再通过成网状布阵的喷嘴所喷出之水雾帘幕来提高空气相对湿度，最后再经过一道挡水板过滤杂质和排除水珠，处理过后的空气才由出口送出。须有循环水泵将水箱和喷嘴间的水做循环性运用，水位不够时自动补水。如：水洗式加湿系统。

(2) 喷雾式：将喷嘴平均分布，利用高压水经喷嘴雾化成较小之水珠，易于与空气接触，因而提高空气含水率。如高压微雾加湿系统与挡水板的组合模式。

(3) 细胞式：如：带有水箱的湿膜循环水模式。

功能

水洗式加湿系统主要功能是过滤及净化空气。冷却、加湿仅为其附属功能。

使用条件

(1) 环境温度：4℃~45℃

(2) 环境湿度：≤85%RH

(3) 使用水质：清洁自来水、软化水、PH值6-7。

(4) 给水压力：0.2-0.6Mpa

(5) 给水温度：4℃-45℃

(6) 气流风速：0.5-3.5m/s

(7) 进风温度：4℃-65℃

主要用途

(1) 空气洗涤、静电消除：晶圆场、光电厂、化学工业、石化厂、化纤厂、电子厂、核电等。

(2) 农业栽培：温室、接种室、杀菌室等。

(3) 干燥加湿：医院、纺织厂、印刷厂、食品加工厂等。

产品组件

(1) 水洗式加湿系统主要安装于新风空调箱、组合式空调箱使用。主要由循环水箱、加压水泵、喷嘴及管路系统、匀流板、挡水板和控制系统组成。

(2) 循环水箱采用不锈钢制成，内有循环管路、自动进水及强制进水装置、循环水泵过滤装置、自动溢水装置、高低水位检测装置和水箱冲洗装置。

(3) 喷嘴及管路系统可采用单排喷雾、双排喷雾、三排喷雾。喷雾数量根据水洗量的要求来决定。

(4) 控制系统含液晶显示操作器（选配）、水位检测系统、给水系统、PH值控制自动清洗系统、自动给水系统与水泵运行保护控制系统。

(5) 匀流板和挡水板可采用ABS或者PPS，也可采用经过冲孔处理的铝合金材料和不锈钢材料。

优缺点及注意事项

1、需要有专业及丰富经验之员工来操作运转。

2、若使用在接近冰点气候环境，须有防结冰保护设备。

3、机台占领空间不大，但可处理大量空气加湿作业。

4、补给水虽循环使用，但换水频率要求亦高，以防空气过于污浊，应考量水源是否充足及水费成本是否过高等问题。

5、可作精确控制，但须加装整合性佳之控制系统，所费不贷。

6、若有废热气供以利用，可节省相当多之能源费用。

7、多灰尘及脏空气须先过滤后再作加湿程序。

8、机台内可能生苔藓及细菌，需经常保养维修及作氯气消毒处理。

9、风车之马力需求较一般大很多。